固有频率：

＜1.2～2Hz

重复定位精度：

±0.10mm

台面材料：

SUS430高导磁不锈钢

台面厚度：

100/200/250mm

平面度：

≤0.05mm/m2

台面粗糙度：

≤0.8μm，局部可达0.4μm

气浮支架：

双层气室,3个真空管水平调节阀,四或六支撑腿

台面加支架总高度

800mm

总高度可调范围

-20～+20mm

孔间距：

25mm（机械打孔）

孔径：

M6螺纹孔

型号

规格（mm）

台面厚度（mm）

最大载荷（Kg）

OPF-0906

900 ×600 ×800

100

400

OPF-1208

1200 ×800 ×800

100

450

OPF-1510

1500 × 1000 ×800

200

550

OPF-1512

1500 × 1200 ×800

200

550

OPF-1609

1600 ×900 ×800

200

550

OPF-1812

1800 × 1200 ×800

200

600

OPF-2012

2000 × 1200×800

200

650

OPF-2015

2000 × 1500 ×800

200

650

OPF-2412

2400 × 1200 ×800

200

800

OPF-2418

2400 × 1800 ×800

200

800

OPF-2515

2500 × 1500 ×800

200

800

OPF-3012

3000 × 1200 ×800

250

1000

OPF-3015

3000 × 1500 ×800

250

1200

OPF-4015

4000 × 1500 ×800

250

1400

OPF-4515

4500 × 1500 ×800

250

1400

OPF-0906

900 ×600 ×800

100

400

OPF-1208

1200 ×800 ×800

100

450

OPF-1510

1500 × 1000 ×800

200

550

OPF-1512

1500 × 1200 ×800

200

550

台面构造

6-8mm厚的高导磁430不锈钢台面和底板,以及全钢制蜂窝结构内芯

侧边

优质的黑色铝塑板装饰，外加封胶处理，保证光学平台清洁的同时又提高了美观性

表面处理

亚光处理，有效减少杂散光

隔振方式

空气弹簧主动隔振

隔振系统

该系统分为竖直隔振和水平隔振两种方式：

竖直方向：竖直隔振采用双气室阻尼空气弹簧隔振系统执行，

支撑光学平台的空气弹簧隔振器采用复合材料气囊做成，

双气室使空气通过层流阻尼器从一个气室流到另一个气室，减少了地面与平台之间的振动，

极大减少了调整时间，并且通过优化气室的体积比，最大限度减少共振频率，提高产品性能。

水平方向：通过安装在支架上三点式悬架系统控制垂直隔振器来实现

调平系统

由安装在自水平框架上的三个高精度调整系统实现，该系统具有三个高精度的调平阀，

通过调节隔振器及气室中的空气补给，可以使台面受到干扰后快速精确的实现重新调平定位。

工作压力

标准1.5-4MPa

空气源

无油静音空压机，噪音<46db

支撑腿

全部支撑结构均采用进口机器人自动焊接成型，安装静音高载脚轮，方便用户自行移动